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Thermo Scientific Apreo 扫描电镜系列

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Apreo 2 S

Apreo 2 C

分辨率

  • 在 1 kV 下 0.9 nm

  • 在 1 kV 下 0.8 nm(光束减速)

  • 在 1 kV 下 1.0 nm,工作距离为 10 mm(光束减速)

  • 在 500 V 下 0.8 nm(光束减速)

  • 在 200 V 下 1.2 nm(光束减速)

  • 1 kV 时 1.2 nm

  • 在 1 kV 下 1.0 nm(光束减速)

  • 在 500 V 下 1.2 nm(光束减速)

标准检测器

  • ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+

  • ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+

PivotBeam

  • 选定区域电子通道的模式(也称为"摇摆光束"模式)。

  • 不适用

可选检测器

  • DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等

ChemiSEM 技术(可选)

  • 可基于能量色散 X 射线光谱 (EDS) 进行实时定量 SEM 图像着色。包含点 & ID、线扫描、区域、元素图和可靠的 Noran 定量。

着陆能量范围

  • 20 eV – 30 keV

载物台偏倚(光束减速)

  • -4000 V 至 +600 V 标准(每个系统)

低真空模式

  • 可选:10 – 500 Pa 腔室压力

载物台

  • 5-轴电动共心载物台,110 x 110 mm2,105° 倾斜范围。最大样品重量:未倾斜位置,5 kg。

最大射束电流

  • 50 nA(也可配置为 400 nA)

标准样品支架

  • 一款多用途支架,以独特方式直接安装在载物台上,容纳多达 18 个标准样品托 (Ø12 mm)、三个预倾斜样品托、交叉切片样品和两个预倾斜排杆支架(38° 和 90°),无需工具即可安装样品

腔室

  • 340 mm 内宽,12 个端口,最多三个同步 EDS 检测器(两个在 180° 处),共面 EDS/EBSD 与载物台的倾斜轴正交